等離子清洗機除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學鍵發生重組，形成新的表面特性。對應不同的污染物，應采用不同的清洗工藝，根據選擇的工藝氣體不同，等離子清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。
1化學清洗:表面作用以化學反應為主的等離子體清洗，又稱PE。氧等離子體通過化學反應可使非揮發性有機物變成易揮發的H2O和CO2。氫等離子體通過化學反應可以去除金屬表面氧化層，清潔金屬表面。
2物理清洗：表面作用以物理反應為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。Ar＋在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產生動能，然后轟擊在放在負電極上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、環氧樹脂溢出或是微顆粒污染物，同時進行表面能活化。
3物理化學清洗：表面作用中物理反應與化學反應均起重要作用。
等離子清洗機在使用過程中，腔體內出現的一些殘留物和氧化層，在前期發展階段，該薄層并不影響設備的運行或成品。但是經過持續的運轉后，發現了清洗效果不穩定，能察覺到微小改變，所以在使用一段時間之后是需要將托板架與電極進行清洗翻新。同時設備出現的故障也直接體現設備的保養的程度。如經適當的維修、翻新，電極的使用壽命可達到預期使用的最大值。那么通過等離子清洗設備的原理和構成制定可行性保養計劃很關鍵。
